Polyétherimide (PEI) dans des applications de porte-plaquettes semi-conductrices
December 14, 2024
Avec le développement continu de la technologie des semi-conducteurs, les exigences de complexité et de précision du processus de fabrication augmentent également. En tant que matériau de soutien important dans la production de semi-conducteurs, les performances du porte-plaquette affectent directement la qualité de traitement et le rendement des plaquettes. Ces dernières années, le polyétherimide (PEI) a été largement utilisé dans les porteurs de plaquettes semi-conducteurs avec ses excellentes caractéristiques de haute performance, et est devenu l'un des premiers choix de nouvelle génération de matériaux de traitement de la plaquette. Avantages des caractéristiques des matériaux de l'EPI
Le polyétherimide (PEI) est un plastique d'ingénierie haute performance avec une série d'excellentes propriétés physiques et chimiques. Premièrement, la résistance à la température élevée de l'EPI est excellente, capable de résister à des températures de fonctionnement allant jusqu'à 170 ° C à 200 ° C, ce qui le rend très adapté au recuit à haute température, à la cuisson et à d'autres processus de traitement thermique communs dans la fabrication de semi-conducteurs. Par rapport aux matériaux traditionnels, l'EPI maintient les propriétés mécaniques stables et la cohérence dimensionnelle à des températures élevées pour répondre aux exigences strictes du traitement des plaquettes. De plus, l'EPI a d'excellentes propriétés d'isolation électrique, ce qui peut éviter efficacement les dommages à la décharge électrostatique (ESD) aux plaquettes pendant la production de semi-conducteurs, protégeant la précision et la stabilité des dispositifs de semi-conducteurs. De plus, le matériau de l'EPI est très résistant aux produits chimiques et peut résister à une variété de solvants corrosifs, d'acides et d'alcalis et d'autres produits chimiques, qui est crucial dans le nettoyage des plaquettes, le traitement chimique et d'autres liens pour assurer la stabilité du porte-boue dans les longs terme. Application dans le transporteur de plaquettes semi-conducteurs
Le polyétherimide (PEI) dans les porteurs de plaquettes semi-conducteurs dans un large éventail de scénarios d'application, principalement axés sur la manipulation, le stockage, le traitement thermique et le nettoyage des plaquettes et d'autres aspects. En raison de sa résistance à haute température et de d'excellentes propriétés mécaniques, le matériau PEI est devenu le choix idéal pour les boîtes de transport, plateaux, racks de support et autres porteurs. Ces porteurs sont soumis à une exposition prolongée à des températures élevées, des réactions chimiques et des impacts externes, et la forte résistance, la résistance à l'impact et la stabilité dimensionnelle de l'EPI lui permettent de se produire de manière cohérente dans des environnements difficiles.
De plus, les faibles caractéristiques d'hygroscopicité de l'EPI garantissent les performances des porteurs de plaquettes. Dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, les porteurs de plaquettes sont souvent exposés à une humidité élevée dans l'environnement, la faible absorption de l'humidité de l'EPI aide à maintenir la cohérence et la stabilité des performances des matériaux, pour éviter les changements de performances ou de déformation causés par l'absorption de l'humidité. Perspectives de marché de l'EPI
Avec l'amélioration continue de l'industrie des semi-conducteurs dans les exigences de performance des matériaux, l'EPI, en tant que plastiques d'ingénierie de coûts hautes et relativement raisonnables, remplace progressivement les matériaux traditionnels et devient l'un des matériaux les plus utilisés dans les porteurs de plaquettes semi-conducteurs. Il est prévu qu'avec les progrès technologiques et la croissance de la demande, la perspective du marché du PEI dans l'industrie des semi-conducteurs sera encore plus large, en particulier dans le processus de fabrication, les exigences à haute température du processus de manipulation de la plaquette, les avantages de l'EPI seront plus proéminent.
En résumé, le polyétherimide (PEI) est devenu un matériau clé dans le domaine de la porteuse de la plaquette semi-conducteurs en raison de son excellente résistance à haute température, isolation électrique, résistance mécanique et résistance chimique. Dans le développement futur de la technologie des semi-conducteurs, l'EPI continuera à jouer son rôle important en aidant l'innovation et le développement de l'industrie des semi-conducteurs.
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